半导体全氟醚O型圈

FFKM全氟醚橡胶密封圈材质是由TFE（主链）、PMVE（支链）及架桥部所构成，它不仅具有像PTFE一样耐高温，耐化学腐蚀的性能，还兼备了橡胶的弹性，普通全氟橡胶密封圈工作温度范围为-25℃~+240℃间。
FFKM全氟醚橡胶密封圈材料在300℃时的压缩变形率也仅在50%以下。耐高温较高可达327℃，即使当暴露在316℃的恒温中或像343℃这样的间歇高温环境中，也不会发生导致密封失效的硬化和脆化，在与侵蚀性流体的浸渍直接接触中依然能保持其弹力和回弹性能。
事实应用领域，全氟橡胶密封圈还具有的气密性和高洁净性以及耐离子体性，这些特点在半导体行业的应用也非常广泛。