半导体焊接真空共晶炉#MEMS器件封装真空炉#器件焊接真空共晶炉

设备功能

☆ 采用工业控制计算机控制，中文操作界面；

☆ 加热方式：红外辐射加热；

☆ 加热载体：高导热硬质合金板；

☆ 冷却方式：氮气冷却；

☆ 炉盖锁紧方式：气动自动锁紧，未锁紧报警；

☆ 工作模式：自动手动两种工作模式；

☆ 用户可自行设定工艺曲线且对所设定工艺曲线实时监控；

☆ 自动运行工艺曲线记录存储功能；

☆ 水冷保护功能（炉盖及观察窗密封圈、降温板），冷却水由设备自带冷却水循环系统提供；

☆ 控制软件具有防差错互锁，超温报警功能；

☆ 配置甲酸模块，可以使用甲酸工艺气体。真空机充气系统为耐腐蚀规格。

☆ 可对抽真空、加热、充惰性气体、甲酸、充气流量等功能进行设置及控制。