苏州现货供应高帮6英吋PFA清洗花篮25片装清洗晶圆盒耐腐蚀耐高温

PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 150mm(6英寸) 25 Slot，PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒 / 铁氟龙晶圆盒 为 为承载半导体晶圆片/硅片的容器，可依照客户需求设计，全氟烷氧基材质有优良的化学稳定性，耐高温200~220℃、耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱)，主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。槽距较大的设计，可应用于薄片晶圆，进入化学酸、碱蚀刻制程中，铁氟龙卡匣需要靠手把夹持，可搭配铁氟龙手把使用。
PFA花篮 / 清洗花蓝 / 铁氟龙卡匣 / 铁氟龙晶舟盒2"、3"、4"、5"、 6"、7"、8"、12" 规格可选

可雷雕刻字

Cassette依材质特性的选择参考：
材质 耐温度 特性 Cassette 应用
PFA Cassette
铁氟龙晶圆盒 200~220℃ 耐 强酸 强氟酸 强碱 酸碱制程中使用
PP Cassette 40~60℃ 重量轻，
可焊接，缺点易变形。 一般传输制程
PEEK Cassette 120℃ 硬度高、耐磨，
不易变形。
PC Cassette 80~100℃ 尺寸安定性佳、耐候性佳、不易应力变形
PEI Cassette 130~150℃ 耐磨、抗静电性。