Aura-Wave等离子体源质谱分析等离子体源火炬

电子器件制造：ECR等离子体源在半导体工业中，微波等离子体源可用于清洁晶圆、蚀刻硅片和沉积薄膜层。其结构小巧，可以多个等离子体源组成等离子墙，或者不同形状以使之便于不同情况的工程应用。

照明：微波等离子体源可用于制造高强度放电灯，如用于投影仪或汽车前灯的金属卤化物灯。 医学应用：微波等离子体源可用于医疗消毒和手术中的组织电凝。

微波等离子体源是一种通过微波能量激发气体分子来产生等离子体的装置。它通常由微波发生器、谐振腔和等离子体室组成。微波发生器会产生一定频率和功率的微波能量，然后将微波能量通过谐振腔传递到等离子体室中的气体分子上。气体分子会被激发并产生等离子体，这种等离子体可以用于各种应用，如材料表面处理、离子束刻蚀等。微波等离子体源在科学研究和工业生产中都有广泛的应用。