真空探针台

高真空探针台KT-Z160T-RL
高低温探针台系统达到≤10Pa即可进行低温测试而无凝露或结霜。对于选用了入门级配置的用户，可选用双极旋片式机械泵即可达到目标真空度，从而减少设备的配置预算。对于真空度有更高要求的用户，可选用分子泵组对系统进行抽真空。低温探针台系统可达10-3Pa。也可选配更高真空度的泵组，以满足测试要求。
为了减少泵组的振动，我们还为用户设计了隔振器，很大程度地衰减泵组工作时产生的振动，以确保系统的稳定，减少探针的移动。

高低温探针台
真空腔体
腔体材质 304不锈钢
上盖开启 铰链侧开
加热台材质 304不锈钢
内腔体尺寸 φ160x90mm
观察窗尺寸 Φ70mm
加热台尺寸 φ60mm
观察窗热台间距 75mm
加热台温度 ﹣190--400℃
加热台温控误差 ±1℃
真空度 机械泵≤10Pa 分子泵≤10-3Pa
允许正压 ≤0.1MPa
真空抽气口 KF25真空法兰
气体进气口 3mm-6mm卡套接头
电信号接头 SMA转BNC X 4
电学性能 绝缘电阻 ≥4000MΩ 介质耐压 ≤500V
探针数量 4探针
探针材质 钨针
探针尖 10μm
探针移动平台
X轴移动行程 30mm ±15mm
X轴控制精度 ≤0.01mm
Y轴移动行程 13mm ±12.5mm
Y轴控制精度 ≤0.01mm
Z轴移动行程 13mm ±12.5mm
Z轴控制精度 ≤0.01mm
电子显微镜
显微镜类别 物镜
物镜倍数 0.7-4.5倍
工作间距 90mm
相机 sony 高清
像素 1920※1080像素
图像接口 VGA
LED可调光源 有
显示屏 8寸
放大倍数 19-135倍,视场范围15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm