射线测厚仪也能进行在线检测，并且检测精度更高，但劣势也显而易见，它有辐射，不管将其降到多低，但长期使用终究不好，一般仅用于薄板的高精检测。
X射线测厚仪利用X射线穿透被测材料时，X射线的强度的变化与材料的厚度相关的特性，从而测定材料的厚度，是一种非接触式的动态计量仪器。它以PLC和工业计算机为核心，采集计算数据并输出目标偏差值给轧机厚度控制系统，已达到要求的轧制厚度。
薄膜测厚仪由于工作现场环境复杂，系统工作一段时间后由于各种因素的干扰，系统会产生基准漂移。这时通过系统效验模块可以修复这种漂移，以系统测量的准确性