半导体材料扩散炉

特点：
1.半导体材料扩散炉采用高纯石英管作为内炉膛，具有良好的洁净度
2.半导体材料扩散炉的耐火、保温材料全部采用的轻质纤维制品，整机能耗低，升温快
3.半导体材料扩散炉的加热元件采用真空成型FEC陶瓷纤维加热器
4.半导体材料扩散炉的温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性。